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微小氣體流量測量中雙熱源質(zhì)量流量傳感器數(shù)值

摘要:在微小氣體流量測量中,雙熱源型質(zhì)量流量傳感器具有精度高、反應(yīng)快以及良好的環(huán)境溫度適應(yīng)性等特點。利用ANSYS.FLUENT軟件,從反映傳感器性能的線性度及靈敏度兩大指標(biāo)出發(fā),改變質(zhì)量流量傳感器熱流密度、熱源間距、管徑等參數(shù)進行數(shù)值模擬分析,分析了影響雙熱源型質(zhì)量流量傳感器性能的主要因素,從而為雙熱源型質(zhì)量流量傳感器的改進提供參考。

0、引言:
  隨著真空、半導(dǎo)體等領(lǐng)域?qū)ξ⑿怏w流量控制的需求,熱式質(zhì)量流量傳感器因其高精度的特點被廣泛采用。相比體積流量測量方式,熱式質(zhì)量流量傳感器不依賴介質(zhì)密度變化,避免了環(huán)境溫度變化帶來的測量偏差。熱式質(zhì)量流量傳感器主要由毛細管、熱源、溫度傳感器三部分組成,氣體經(jīng)過上游熱源并帶走熱量,使下游熱源初始溫度變化,通過溫度傳感器獲取上下游熱源溫差,此溫差與流體質(zhì)量流量成線性關(guān)系[3]。

  雙熱源型質(zhì)量流量傳感器采用電阻溫度系數(shù)較高的兩組電阻絲作為上下游熱源,同時具備溫度感應(yīng)的功能,結(jié)構(gòu)簡單并具有優(yōu)良的響應(yīng)時間。上下游電阻絲電阻初始值相同,在惠斯通電橋上體現(xiàn)為電阻分壓相同,初始輸出電壓信號為零。當(dāng)環(huán)境溫度發(fā)生變化時,上下游電阻值會同步發(fā)生變化,不會影響初始電壓輸出信號,所以雙熱源型具備良好的環(huán)境溫度補償能力,適用于傳感器環(huán)境溫度不穩(wěn)定的工況,如車載LNG氣瓶蒸發(fā)率的在線監(jiān)測。

  對于單熱源傳感器,熱流密度、熱源間距、毛細管管徑等因素都會影響傳感器的靈敏度與線性度[4],良好的靈敏度與線性度是測量的前提。然而其對雙熱源型傳感器的影響趨勢還尚有爭論,通過數(shù)值模擬的方法對傳感器的諸多影響因素進行分析,用有限體積法對傳感器結(jié)構(gòu)和控制方程進行離散,F(xiàn)LUENT對離散方程進行求解,得到各個位置的溫度分布情況,分析出傳感器性能的關(guān)鍵影響因素。

1、傳熱物理模型:
  雙熱源型質(zhì)量流量傳感器是在U型毛細管的水平部分間隔設(shè)置兩組相同的電阻絲作為熱源與溫度感應(yīng)元件,兩組電阻絲串聯(lián)在惠斯通電橋上,通過測量電阻絲的分壓差來反映氣體質(zhì)量流量。結(jié)構(gòu)如圖1所示(定義為標(biāo)準(zhǔn)工況),截取U型管的水平部分,長為20 mm,管徑為Φ0.6 mm,壁厚為0.05 mm,

兩熱源(heat-1,heat-2)長度均為4 mm,間距0.6 mm,中心對稱放置。由于圓形管道的對稱性,采用二維模型模擬,模型簡單,同時結(jié)果偏差在可接受范圍內(nèi)。實際工作時傳感器感應(yīng)的溫度是管壁溫度,與氣體的溫差會影響到傳感器測試結(jié)果,模型同時計算氣體部分和管壁部分,得出管壁與氣體在不同工況下的溫度分布差異,模擬出較為真實的結(jié)果。

圖1 雙熱源型質(zhì)量流量傳感器結(jié)構(gòu)圖
  控制方程:∂ρCPT∂t+∂(ρCPTui)∂xi=∂∂xiéëêùûKú∂T∂xi+Sh(1)式中:K 、ρ 、CP分別為熱傳導(dǎo)系數(shù);氣體密度與定壓比熱容;∂ρCPT/ ∂t 為非穩(wěn)態(tài)項,對于熱式傳感器穩(wěn)態(tài)數(shù)值模擬可忽略;∂(ρCPTui) / ∂xi為對流項,流體通道內(nèi)具有對流換熱;∂ / ∂xi[K(∂T/ ∂xi)]為熱傳導(dǎo)項,在毛細管壁厚與流體通道內(nèi)均存在軸向和徑向的熱傳導(dǎo);Sh為內(nèi)熱源項,僅在毛細管熱源處存在。具體熱量傳遞方式如圖2所示。
圖2 傳感器熱傳遞方式圖
圖2 傳感器熱傳遞方式圖

2、FLUENT 求解:
  FLUENT 軟件包含基于壓力的分離求解器、基于壓力的耦合求解器等,可用來模擬從不可壓縮到超高音速范圍內(nèi)的各種復(fù)雜流場。對于熱傳導(dǎo)、熱對流、多相流、旋轉(zhuǎn)機械等復(fù)雜機理的流動問題模擬相對準(zhǔn)確。其中 SIMPLE(解壓力耦合方程的半隱式法)算法是一種主要擁有求解不可壓流場的數(shù)值方法,具有收斂速度快等優(yōu)點。

2.1、邊界條件:
2.1.1、毛細管管壁對環(huán)境散熱:

  對沒有熱源的其他管壁處,會與環(huán)境產(chǎn)生自然對流換熱,造成熱量的損失。自然對流換熱部分的邊界可采用傳熱學(xué)第三類邊界類型,與環(huán)境的換熱量等于環(huán)境的自然對流散熱量,即:hs(T)s- T = -Ktd Tdy(2)環(huán)境自然對流換熱系數(shù) hs可由關(guān)系式(3)確定:Nus= 1.076(Gr Nu Pr)16=1.076éëêùûúgαvq L4λν2Pr16(3)hs=NusλL式中:Nu 為無量綱數(shù),表示壁面上流體的無量綱溫度梯度;Gr 為無量綱數(shù),表示浮升力與黏性力之比的一種量度;Pr 為無量綱數(shù),表示動量擴散能力與熱量擴散能力的一種量度;αv為體脹系數(shù),等于定性溫度的倒數(shù);g、q、L、ν 、λ 分別為重力加速度、熱流密度、繞線長度、動力黏度、空氣熱傳導(dǎo)系數(shù)。

2.1.2、熱流密度的確定:

  熱流密度的確定為模擬恒功率熱式傳感器,給熱源處提供恒定熱流量。對模型中heat-1與heat-2處熱流密度的確定,先采用單熱源質(zhì)量流量傳感器做實驗,確定熱流量范圍,利用實驗中的電壓與電流得到熱功率,再經(jīng)過計算得到熱流量。初步實驗確定的電阻絲溫度與輸入電壓、電流的關(guān)系如表1所列,通過計算,***終確定熱流密度2 539、3 381、4 231 W/m2三種情況。

表1 單熱源型質(zhì)量流量傳感器電阻絲溫度-功率表
表1 單熱源型質(zhì)量流量傳感器電阻絲溫度-功率表

2.2、模擬結(jié)果與分析:
2.2.1、標(biāo)準(zhǔn)工況:

  對標(biāo)準(zhǔn)工況進行模擬計算,管徑為Φ0.6 mm,壁厚為0.05 mm,設(shè)置熱流密度3 381 W/m2,環(huán)境自然對流換熱系數(shù)26.94 W/m2·K,氣體通道采用速度入口邊界,對0~10 m L/min(換算為速度變量分別為0、0.265 26、0.530 52、0.795 77、1.061 03、1.326 29 m/s)六個質(zhì)量流量分別進行計算,得到沿毛細管溫度分布云圖如圖3(圖4為溫度曲線分布圖)所示,當(dāng)毛細管內(nèi)沒有介質(zhì)流動時,溫度沿中點左右對稱分布,溫度***高為359 K左右,由于兩熱源之間有間距,這部分區(qū)域存在散熱,所以溫度***高點不在毛細管中心位置;當(dāng)有介質(zhì)流動時,流量帶走部分熱量,整體溫度下降,溫度***高點也開始往下游移動,形成上下游熱源間溫差。

圖3 標(biāo)準(zhǔn)工況溫度分布云圖
圖3 標(biāo)準(zhǔn)工況溫度分布云圖

圖4 標(biāo)準(zhǔn)工況溫度分布曲線圖

圖4 標(biāo)準(zhǔn)工況溫度分布曲線圖

  為了明確上下游熱源溫差與流體質(zhì)量流量的關(guān)系,利用 FLUENT 的體積分功能對上下游熱源區(qū)域氣體溫度求平均,得到上下游熱源溫度變化,變化曲線如圖 5 所示,在流量增大過程中上游熱源溫度降低,且溫度變化曲線具有較好的線性度;下游熱源溫度在微小流量時有較小的上升,隨著流量的增大,溫度也逐漸降低;對于上下游熱源溫差變化,剛開始線性上升,隨著流量的加大趨于平緩。

  隨著流量的增加,對于恒功率而言,流體前后溫差變小,故而上游熱源溫度線性減?。幌掠螣嵩从捎诹黧w對熱量的攜帶作用,剛開始平均溫度較無流量時有所提升,但當(dāng)流量增大時,和上游熱源一樣,溫度開始下降;上下游溫度差在 1~5 m L/min 范圍內(nèi)線性度良好,之后趨于平穩(wěn),從整體考慮,上下游熱源溫差變化完全是由于流量增大,使溫度分布曲線整體后移,形成溫差與流量線性的變化趨勢,至于后面趨于平穩(wěn)是由于熱源間距處的散熱或者流速過大換熱不充分等原因造成。
圖5 傳感器溫度變化曲線圖
圖5 傳感器溫度變化曲線圖

2.2.2、不同熱流密度模擬:
  熱流密度即毛細管攝入熱量的多少,其大小會影響到氣體及毛細管壁***高溫度,過大可能會燒壞電阻絲及固定作用的涂膠,造成傳感器零點漂移等問題;熱流過小則會導(dǎo)致溫度隨流量變化不明顯,靈敏度降低,對于微小流量的測量不夠。對外徑Φ0.6 mm,壁厚 0.1 mm 的管道賦予 2 539、3 381、4 231 W/m2不同的熱流密度,通過觀察流體溫度分布,上下游熱源溫度變化及關(guān)鍵位置的熱流量等信息判斷熱流密度對傳感器性能的影響趨勢,結(jié)果如圖6所示。

圖6 不同熱流密度流量-溫差曲線圖
圖6 不同熱流密度流量-溫差曲線圖
  隨著熱流密度的增加,傳感器的線性度和量程范圍基本不變,靈敏度隨熱流密度的增加而增加;熱流密度越高,流體及毛細管***高溫度越高,超過溫度承受范圍可能會燒毀電阻絲及涂膠,長期高溫下使用也會造成嚴(yán)重的零點漂移及結(jié)果偏差。

2.2.3、不同熱源間距模擬:
  熱式傳感器利用流體對熱量的傳遞作用來測量質(zhì)量流量,理論上流體從上游攜帶的熱量全部帶到下游使下游溫度發(fā)生變化,但實際過程流體攜帶的熱量部分會在熱源間距處耗散,影響傳感器性能。對0.6 mm管徑的毛細管,間距設(shè)置0.2、0.4、0.6 mm分別進行模擬,結(jié)果如圖7所示,三種間距曲線趨勢大致相同,忽略模擬誤差,可認為熱源間距對傳感器性能影響較小,或是由于間距變量過小差距不明顯。為了驗證間距對傳感器性能的影響程度,接著對0.6 mm間距的傳感器進行保溫處理,僅在間距處保溫,結(jié)果同圖 7,發(fā)現(xiàn)靈敏度和線性度都有所提升,證明間距處的散熱量對傳感器性能影響不可忽略。

圖7 不同熱源間距流量-溫差曲線圖

圖7 不同熱源間距流量-溫差曲線圖

2.2.4、不同管徑模擬:
  毛細管管徑的大小作為傳感器設(shè)計的關(guān)鍵因素,對傳感器性能影響較大。圖 8 為三條不同管徑對應(yīng)的流量-溫差曲線,顯示管徑對傳感器線性度、靈敏度、量程范圍都有影響。
圖8 不同管徑流量-溫差曲線圖
圖8 不同管徑流量-溫差曲線圖

  由圖 8 可以看出,0.4 mm 管徑在 0~2 m L/min具有良好的線性度,且隨著流量的增大,上下游溫差出現(xiàn)不增反降的現(xiàn)象,而對于0.8 mm管徑的傳感器,在 0~10 m L/min 都保持著良好的線性度,量程范圍擴寬,但靈敏度有所降低。具體影響趨勢會隨著管徑的增大,傳感器靈敏度降低,線性度提升,量程范圍變寬。

3、結(jié)論:
  采用有限體積法對傳感器模型與控制方程進行離散,設(shè)置不同的熱流密度、熱源間距、毛細管管徑分別進行模擬計算。結(jié)果表明,熱流密度主要影響傳感器的靈敏度與***高溫度,即熱流密度越大,靈敏度與***高溫度越大;熱源間距太小,對不同的間距模擬結(jié)果影響不明顯,但間距的存在會使傳感器線性度與靈敏度下降;毛細管管徑對傳感器線性度、靈敏度、量程范圍都有影響,隨著管徑的增大,傳感器靈敏度降低,線性度提高,量程范圍變寬。

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